Тег: ионно-лучевая литография

Китайцы ускорили производство фотонных чипов

Китайские ученые разработали новый метод ионно-лучевой литографии, позволяющий ускорить производство фотонных чипов в сотни раз.Этот метод открывает путь к массовому пр…